然而,蓝宝石的“刚硬”既是优点,也是挑战。其高硬度、高脆性和化学惰性,使其切割、研磨和抛光的难度极大,加工成本曾是制约其大规模应用的主要瓶颈。蓝宝石晶片的加工通常分为切割、粗磨、中磨、精磨和抛光等多个工段。
1. 切割与减薄
首先需将生长出的蓝宝石晶棒通过多线切割等技术切成薄片。随后,需对晶片进行减薄,以去除切割损伤层并达到目标厚度。在这一阶段,钻石研磨垫发挥着重要作用。深圳市杰盛达晶体材料有限公司等企业提供的钻石研磨垫,通过将微米级金刚石颗粒均匀固结于垫材中,实现了对蓝宝石材料高效、可控的去除,显著提升了减薄工序的效率和表面一致性。
2. 研磨与抛光
减薄后的晶片表面粗糙,需经过多道研磨工序。碳化硼(B₄C)、碳化硅(SiC)或金刚石微粉常被用作磨料,配制成研磨液进行逐级研磨。此后的化学机械抛光(CMP) 是决定最终表面质量的关键。利用氧化铝(Al₂O₃)抛光液或二氧化硅(SiO₂)抛光液,在化学腐蚀和机械去除的协同作用下,获得原子级的超光滑表面(Ra值可小于0.2nm)

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